供应福润德牌扩散炉炉体
详细描述
设备特点:
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停/继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件**部具有高**性
技术指标:
可配置工艺管外径2~8英寸
可配置工艺管数量:1~4管/台
工作温度范围:400~1300℃
恒温**度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h
