主营产品:
扩散炉,链式炉,真空炉
青岛福润德微电子有限公司
经营模式:加工/制造
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技术指标:
工作温度:200&**sh;1300 ℃
加热元件:康泰尔丝
保温材料:高纯纤维制品
炉管材料:石英管、刚玉管
控制方式:PlD控制,参数自整定
加热区:根据工艺要求
**保护:超温、水压、停气等声光**保护
控制精度:±1℃
控制气氛:根据工艺要求
出口工件温度:≤65℃