主营产品:
扩散炉,链式炉,真空炉
青岛福润德微电子有限公司
经营模式:加工/制造
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◆温区精度(静态闭管测试):600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃:±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h
◆气体流量设定精度:±2%FS
◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s ◆自动送料装置行程:~2000mm